0.1μmベースクラス10対応※1、高クリーン環境で使用可能な　ヤマハクリーンロボットＣシリーズ新発売

　ヤマハ発動機（株）の社内カンパニーである「IMカンパニー」（プレジデント：戸上常司、所在地：静岡県浜松市）では、半導体、液晶などの電子部品の製造工程でクリーンルームへの設置が可能な、高クリーン度と高性能・低価格を両立させた「新型クリーンロボットCシリーズ」を、12月11日より発売します。
　この製品は、12月6日から8日まで千葉県・幕張メッセで開催される「セミコン・ジャパン2000」に展示されます。

ヤマハクリーンロボットCシリーズ

　半導体、液晶などの電子部品の製造工程では、塵、埃が製品に付着すると品質不良を引き起こす可能性が増すため、製造設備で使用される機器には発塵を抑える対策が必要とされます。最近では、半導体、液晶の微細化に伴い、発塵量の少なさを意味するクリーン度に対する要求も年々厳しくなる一方です。
　今回発売のクリーンロボットでは、従来機がクリーン度クラス100対応であったものを、クリーン度クラス10にまで性能を向上させています。また、これまでなかった超小型単軸ロボット、先端ZR軸付の直交型4軸ロボットのクリーンタイプをラインナップし、今春発売したクリーン単軸ロボット４機種を加え、クリーンロボットCシリーズは、単軸で7機種、直交型で1機種、スカラ型で8機種、の全16機種となりました。

　0.1μmベースでクラス10の高いクリーン度を達成しました。
単軸、直交型では、スライドテーブル面をステンレスシールで覆うことで、またスカラ型では、先端軸にジャバラを取付け、先端カバー全体を密閉構造にすることで、発塵防止と吸気効率の向上で、クラス10を実現することができました。

　一回転内の絶対角度検出が可能なレゾルバを採用することで、低価格で原点復帰レス機能を標準装備しました。電源を入り切りする度に行わなければならなかった煩わしい原点復帰動作を行うことなく、電源を入れて即座に設備を稼動することができます。

　単軸、直交型では、ステンレスシャッター部に疲労強度の極めて高い材料を使用することで、高い信頼性と寿命を確保しました。スカラ型でも、先端ジャバラに2千万回以上の伸縮試験をクリアした耐久性の高い材料を使用して、耐久性能を確保しています。

　最近のクリーンロボットでは、通常のロボット同様に高速化を要求されることが多くなってきました。今回のクリーンロボットシリーズでは、今年発売の単軸、直交型、スカラ型ロボットXシリーズをベースに設計しているため、標準ロボットの高速性能を存分に引き出すことができます。

　今春発売のスカラ型ロボットYK-Xシリーズ、直交型ロボットXY-Xシリーズ、単軸ロボットFLIP-Xシリーズとの部品共通化により、クリーン度クラスをクラス100（0.3μmベース）よりクラス10（0.1μmベース）に性能向上させたにもかかわらず、価格ダウンを達成しました。

　半導体、液晶などクリーン度が要求される生産設備において、組み立て、搬送、移載などの用途に使用できます。

クリーン単軸ロボット

クリーン直交型ロボット

クリーンスカラ型